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測(cè)量殘留氣體成分的智能真空計(jì)

測(cè)量殘留氣體成分的智能真空計(jì)

產(chǎn)品型號(hào): SC-10

所屬分類:真空計(jì)

產(chǎn)品時(shí)間:2024-09-10

簡(jiǎn)要描述:日本vista用于測(cè)量殘留氣體成分的智能真空計(jì)SC-10
用于測(cè)量殘留氣體成分的真空計(jì)用于真空設(shè)備的健康檢查!

詳細(xì)說(shuō)明:

日本vista用于測(cè)量殘留氣體成分的智能真空計(jì)SC-10

 

用于測(cè)量殘留氣體成分的真空計(jì)用于真空設(shè)備的健康檢查!?

?通過(guò)監(jiān)視殘留氣體成分,可以監(jiān)視真空裝置的健康狀況,并可以立即發(fā)現(xiàn)異常。
?用此一臺(tái)可以測(cè)量真空度(總壓力)和氣體成分(分壓)。

 

SC-10智能真空計(jì)是我們開發(fā)的一種全新的自動(dòng)真空計(jì),可以測(cè)量殘留氣體成分和總壓真空。
總壓力真空是從大氣壓到10-7Pa的超高真空,當(dāng)總壓力達(dá)到約50Pa時(shí),氣體成分的分壓會(huì)自動(dòng)啟動(dòng),并且可以測(cè)量約10-5Pa至10-6Pa ...
可以在粗糙的壓力范圍內(nèi)測(cè)量氣體成分并檢查泄漏,這是常規(guī)氣體分析儀無(wú)法做到的。

 

由于智能真空計(jì)可以測(cè)量殘留氣體的成分,因此可以快速了解真空設(shè)備的聲音狀況,例如排氣裝置中的水蒸氣泄漏和脫氣。下兩個(gè)圖顯示了同一設(shè)備的不同排氣數(shù)據(jù),但在圖1中顯示了正常排氣,其中水蒸氣是主要成分,并且確定了總壓力真空,而在圖2中,氮?dú)馐怯捎谛孤┰斐傻???梢钥吹剑瑥南陆档呐艢忾_始大約5分鐘后,排氣停止了,如果繼續(xù)排氣,則大約10分鐘后,氮含量變得比水蒸氣大,并且總氮含量下降。壓力真空停止。通過(guò)使用智能真空計(jì),您可以快速發(fā)現(xiàn)排氣異常及其原因,而僅通過(guò)監(jiān)視總壓力真空是無(wú)法理解的。

使用智能真空計(jì)不僅可以發(fā)現(xiàn)泄漏,還可以噴射氦氣或氬氣以找到泄漏的位置。圖3顯示了在泄漏點(diǎn)上噴射氬氣時(shí)的智能真空計(jì)的數(shù)據(jù),但是可以看到,由于氬氣的增加和氮?dú)獾臏p少,這里存在泄漏。在停止泄漏之后,如圖4所示,氮?dú)夂脱鯕鉁p少,水蒸氣成為主要成分,并成為典型真空裝置的殘留氣體成分。

日本vista用于測(cè)量殘留氣體成分的智能真空計(jì)SC-10

測(cè)定原理

SC-10通過(guò)測(cè)量總壓力的冷陰極壓力表的放電顏色來(lái)區(qū)分氣體成分。通過(guò)利用光的顏色(波長(zhǎng))根據(jù)氣體成分而不同的事實(shí)來(lái)測(cè)量該成分。也可以在SC-10的光譜模式屏幕上查看氣體成分的波長(zhǎng)。
由于氣體成分測(cè)定部設(shè)置在大氣壓側(cè),因此不會(huì)被真空中的氣體污染,因此能夠不受污物的影響而進(jìn)行測(cè)定。此外,冷陰極規(guī)沒(méi)有燈絲,因此可用于堅(jiān)韌耐用的應(yīng)用。



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