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日本昭和ssvi高性能型主動(dòng)隔振裝置VAAV-L

日本昭和ssvi高性能型主動(dòng)隔振裝置VAAV-L

產(chǎn)品型號(hào):

所屬分類:其他設(shè)備

產(chǎn)品時(shí)間:2024-09-06

簡(jiǎn)要描述:日本昭和ssvi高性能型主動(dòng)隔振裝置VAAV-L
配備了專門用于VAAV的超靈敏加速度傳感器。準(zhǔn)確掌握微小的振動(dòng)。
原始的主動(dòng)振動(dòng)隔離算法可高速計(jì)算,高精度高輸出執(zhí)行器可立即消除振動(dòng)。

詳細(xì)說明:

日本昭和ssvi高性能型主動(dòng)隔振裝置VAAV-L

 

配備了專門用于VAAV的超靈敏加速度傳感器。準(zhǔn)確掌握微小的振動(dòng)。

 

原始的主動(dòng)振動(dòng)隔離算法可高速計(jì)算,高精度高輸出執(zhí)行器可立即消除振動(dòng)。

 

超靈敏的加速度傳感器慷慨地安裝在地板一側(cè),前饋控制實(shí)現(xiàn)了世界上gao水平的隔振性能。

 

在保持高性能和高精度隔振性能而沒有共振現(xiàn)象的同時(shí),安裝臺(tái)的激振力所產(chǎn)生的振動(dòng)也會(huì)同時(shí)衰減。

值得

  • 無共振的振動(dòng)傳遞特性。
    由于它配備了VAAV系列中柔軟的空氣彈簧,因此具有該系列中g(shù)ao的隔振性能。
  • 氣動(dòng)控制可實(shí)現(xiàn)全fang位高精度的位移和位置控制。
  • 它特別適用于對(duì)振動(dòng)敏感的精密測(cè)量?jī)x器,以及針對(duì)低頻振動(dòng)較大的安裝環(huán)境的抗振動(dòng)措施。
  • 安全可靠的設(shè)計(jì)與CE標(biāo)記兼容。(控制器SAC-07)
  • 振動(dòng)波形顯示分析軟件是標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。

日本昭和ssvi高性能型主動(dòng)隔振裝置VAAV-L

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產(chǎn)品用途

  • 電子顯微鏡可防止高倍率圖像因振動(dòng)而晃動(dòng)。該主動(dòng)隔振臺(tái)對(duì)于不喜歡被動(dòng)隔振臺(tái)無法消除的低頻振動(dòng)的顯微鏡有效。
  • 它用作對(duì)振動(dòng)特別敏感的設(shè)備的振動(dòng)對(duì)策,例如掃描隧道顯微鏡,原子力顯微鏡和光學(xué)測(cè)量設(shè)備。
  • 低頻振動(dòng)大的安裝地面環(huán)境的防振措施

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規(guī)范

模型可安裝質(zhì)量(1個(gè)單位)尺寸(1個(gè)單位)
VAAV-550L270?900公斤215(寬)x 160(深)x 240(高)mm
VAAV-1000升500-1700公斤225(寬)x 180(深)x 240(高)mm
VAAV-4000L2100-7000公斤350(W)x 350(D)x 325(H)毫米

 

控制器
SAC-07
控制器SAC-07300(W)x 300(D)x 118(H)毫米
電源供應(yīng)AC100V-240V 100VA(單相)
電源線3m
調(diào)節(jié)器
RGU-07
250(W)x 100(D)x 200(H)毫米
單元連接電纜5m
自由度3軸6自由度
振動(dòng)傳遞函數(shù) 
定位精度±10微米
主供氣壓力0.6MPa以上(清潔空氣)
耗氣量標(biāo)準(zhǔn)閥60 L / min
高速響應(yīng)閥250 L / min


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