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日本富士工業(yè)fuji高精度單組分密度計

日本富士工業(yè)fuji高精度單組分密度計

產(chǎn)品型號: FUD-1 Model-130

所屬分類:

產(chǎn)品時間:2024-09-05

簡要描述:日本富士工業(yè)fuji高精度單組分密度計FUD-1 Model-130
Model-130是一個概念模型,強調(diào)了所測量濃度的穩(wěn)定性,
在需要高精度和高穩(wěn)定性密度計側(cè)的半導(dǎo)體制造過程中非常有效。

詳細說明:

日本富士工業(yè)fuji高精度單組分密度計FUD-1 Model-130

產(chǎn)品總覽

該模型被定位為FUD-1 Model-13的模型,可滿足諸如高精度和高穩(wěn)定性測量等客戶需求。

單組分密度計的特點

Model-130是一個概念模型,強調(diào)了所測量濃度的穩(wěn)定性,
在需要高精度和高穩(wěn)定性密度計側(cè)的半導(dǎo)體制造過程中非常有效。
 

值得

  • 可以高精度連續(xù)測量
  • 免維護,無需定期調(diào)整/校準(zhǔn)
  • 易于安裝,因為在安裝過程中無需進行任何調(diào)整
  • 通過實時輸出輕松反饋到過程

 

用途

  • CMP過程中的CMP漿料或氧化劑濃度控制
  • 稀釋過程中各種化學(xué)濃度的管理(H2O2,TMAH,HNO3,H2SO4,HCl等)
  • 清潔過程中的清潔液濃度控制(HF,NH4OH,KOH,IPA等)
  • 控制蝕刻過程中的蝕刻液濃度(HF,H2SO4等)
  

日本富士工業(yè)fuji高精度單組分密度計FUD-1 Model-130

規(guī)范

格式FUD-1 130型
測量參數(shù)超聲波傳播速度/溫度
顯示LCD(密度,溫度,聲速/各種參數(shù))
輸出信號模擬DC4-20mA(可設(shè)置任何濃度值)
數(shù)字RS232C(密度/溫度/聲速/錯誤代碼)
警報上下限測量錯誤
電源供應(yīng)AC100V-240V 50 / 60Hz兩用30VA(也可使用DC24V)
施工面板安裝類型(符合DIN標(biāo)準(zhǔn))
功能輸出范圍設(shè)定功能,警報輸出設(shè)定功能,濃度顯示移動平均功能,濃度顯示偏移及增益設(shè)定功能,自診斷功能,故障保險功能,異常值取消功能
選項溫度輸出(DC4?20mA)
渠道高達10Ch
電纜6米
濕件材料PFA涂料
配件公稱直徑為1/2到1英寸的各種類型
測量環(huán)境轉(zhuǎn)換器
10-40 ℃ RH85%以下
 發(fā)射機 5-45°攝氏度
 測量液體溫度 0-50°攝氏度
 耐壓性 0.3兆帕
流量5 l / min以下


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